Référence : PEO
Fours de refusion sous-vide - PEO
Les fours polyvalents PEOs sont des fours à procédé “hot wall” avec fils de Kanthal chauffés. Les PEOs sont idéaux pour le R&D, le développement de nouveaux procédés uniques et sophistiqués ainsi que pour la petite et moyenne production.
Fours de refusion sous-vide - PEO
  • Energie verte.
  • Température continue de 1100°C max wafer/substrat.
  • Excellentes capacités à faible température : 150°C – 1100°C.
  • 100 étapes par programmes.
  • Vide absolu à approximativement 7 x 10-7 mbar.
  • Jusqu’à un processus de 100 wafers avec une uniformité inférieure à 1.5 K.
  • Rampes de températures rapides.
  • Rampes de températures lentes : 1K pour 100 minutes.
  • Chambre en Quartz de catégorie semi-conducteur.